2022-07-12
8
首先，要和大家說(shuō)聲抱歉：之前我發(fā)布的離子注入設(shè)備供應(yīng)商數(shù)據(jù)里被行業(yè)朋友指出不少錯(cuò)誤，有可能對(duì)其他人產(chǎn)生誤導(dǎo)，所以我總結(jié)多個(gè)來(lái)源的反饋，重新整理了這個(gè)表格，供大家參考 其實(shí)半導(dǎo)體用離子注入設(shè)備的應(yīng)用細(xì)分還有很多。比如： 低能大束流里還分重金屬、超低溫和標(biāo)準(zhǔn)等多種機(jī)型； 用于SiC器件制造的高溫注入設(shè)備其實(shí)也分大束流、中束流、高能這幾種； 另外，注入設(shè)備在SOI襯底制造中還有注氫注氧等特殊細(xì)分應(yīng)用 這些信息由于過(guò)于詳細(xì)，我暫時(shí)還無(wú)法一一細(xì)致整理，希望以后有機(jī)會(huì)
了解更多
